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日用陶瓷制品电镀技术与生产管理
第一章 绪论
随着高科技发展，我厂陶瓷业电镀技术应运而生。近两年来，我厂一批技术员经过实践和探索，日用陶瓷业电镀技术与生产管理日臻成功。
我厂技术员自行设计，自行制作了许多科学实用的生产工具和一系列辅助配套设施，解决了实际生产中所遇到的种种困难，改变了劳动效益，提高了生产效率，并在实践中推动促进了这门高科技技术的革新和设备的改进改良。
日用陶瓷电镀金、银技术的接近成功，标志着我国将大量节约一大批黄、白金资源。
第二章设备的组成和基本常识
陶瓷电镀业主要设备是多弧离子镀膜机。
多弧离子镀膜机是一种高效、无害、无污染的离子镀膜设备，
它具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、成 本低的优点。真空电弧离子的原理是基于冷阴极自持弧光放电，结合脉冲技术及磁控溅射技术，使沉积粒子细化，膜层的各项性能得以提高。
多弧离子镀膜设备的主要技术指标：
1、镀膜室尺寸，镀膜室尺寸目前比较受广泛应用的一般为，1600mm×1800mm，或1800mm×1800mm。
2、极限真空度，极限真空度要求达到2×10^-3Pa ，或2×10^-4Pa，性能越高越好。
3、圆柱靶1套。
4、弧蒸发源，弧蒸发源每个功率约1.5kW，整台设备可设置16－20个。
5、工件转架，工件转架采用公自转，变频调速装置。工件转架一般要满足生产要求需配置3套，其中两个八轴，一个三十六轴（可结合本厂产品所需配置），生产运作采取三架车载，同轨轮流往返作业。
6、整机供电电源，三相380V50Hz，约125kW。
多弧离子镀膜设备的组成，主要由主机和电器控制系统两大部分组成。主机包括真空室、支架、平面靶、弧蒸发器、工件转架、真空系统、水冷系统、供气系统、旋转驱动及各种测量接插头等。电器控制系统包括操作控制柜,，弧源枪和电源柜等配套设施。
第一节真空系统
真空系统的任务，简单说它是要把真空室里（炉室）的空气抽走，从而使真空室达到一定的真空度，即3.8×10^-2。我们生产所需的真空度。那么，要靠哪些设备来解决呢？主要靠能够抽走空气的类泵，如：机械泵、罗茨泵、扩散泵。所以，多弧离子镀膜机的周围装配有机械泵、罗茨泵、扩散泵、维持泵等设施。
1、机械泵
机械泵也叫前级泵或粗抽泵，机械泵之所以安装在最前级，是因为它能适应大气压力下的工作，即一开始真空室里的大气，但它的缺陷是依靠自身难以抽走抽净细小微弱的空气。好比说, 它有力气能干粗活。在这里，可以看作是汽车爬坡时所需的低速档。
机械泵是由转子、定子、旋片、活门和油槽等构成。机械泵里面的真空泵油是起密封、润滑、冷却以及协助打开活门的作用。应用中，常检查油位达标，传动带松懈断裂，注意水冷通畅。油少则加，带裂则换，水阻弄通。每一两月换新油一次，每三五月泵内外大清理一回，确保泵低噪正常运行。
2、罗茨泵
罗茨泵也叫罗茨真空泵，罗茨泵安装在机械泵后级。罗茨泵泵腔内，有二个8字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动，作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与真空泵壳内壁之间，保持一定间隙，实现高转速运行。由于罗茨泵串联使用和转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与真空泵壳之间的空间内，再经排气口排出。罗茨泵吸气后的VO空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，VO空间与排气侧相通时，排气侧的气体压强就较高，便有一部分气体要反冲到空间VO中去，使气体压强猛增。当转子继续转动时，气体便排出真空泵外由机械泵接走。每当转轴转一周，双叶罗茨泵吸排各两次。罗茨泵形状种类很多，有二叶三叶和多叶罗茨泵。罗茨泵转速快，精密度高，与其它的构造和特性，罗茨泵不能适应大气压力下的工作, 但它能够带走微弱细小或含一定杂质的气体。所以它要安装在机械泵的后级，轻装上阵，飞速捕捉。在这里，有如汽车在平地行驶时所挂的快速档。应用中，常检查油位达标，注意水冷通畅。油少则加，水阻弄通，转轴油封坏则换。每半年换新油一次，经常擦洗保持泵体外围清洁，确保泵低噪正常运行。
3、油扩散泵
油扩散泵，或叫蒸气喷射泵。油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。油扩散泵，采用不锈钢内腔，纵向叠加锥形喷射口内室。油扩散泵一般有三个喷射口内室，其大小逐个减小，最大的在内腔底部。内腔底部装扩散泵油。下设电加热器电炉盘。
油扩散泵历史悠久，非常实用。首次设计要追溯到1915年，原来是用水银作泵液，承受温度得到提高，但缺点有毒。之后油扩散泵经过多年的改进和合成液体的进步，使得更高程度的真空能够得到实现。目前我们应用中的油扩散泵非常可靠，安全且高效。
油扩散泵当加热器加热到一定的温度后，里面的油开始沸腾，气化了的油便会上移，从内室的各个喷射口喷出。而炉室中热运动的气体分子便扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前沿，起冷却作用的水则通过内腔外壁降温，油蒸气被冷凝，释出气体分子，气体分子便被前级的罗茨泵机械泵吸纳抽除，油扩散泵达到抽气的目的。油扩散泵蒸汽喷口的捕捉率，取决于它的密度，速率和分子量。
油扩散泵开始工作时，内腔不能有完全的大气压（适应小气压力下工作）。因此，前面设计的机械泵和罗茨泵，先少量抽压，起到辅助低真空的作用。
油扩散泵，之所以称它为扩散泵是因为气体分子渗透到蒸汽喷口蒸气流，方式类似于一种气体扩散到另一种气体里。油从喷射口喷射出来，时速可达700英里，在内室和内腔壁之间向下降落，已达超音速，没有音爆，原因是部分真空状态下的分子间隔大，不能传导声能，故油扩散泵工作时非常静，没有噪声。油扩散泵之所以受到广泛应用，还有它的许多优点，例如制作简单可靠性高，运行无振动无噪音，长时间运行相当稳定，操作简单维修方便，成本低价格廉。
油扩散泵在运行中会出现少量的回流。回流是指少量的油向 相反的方向移动，移向泵的入口处进入进程流。应用中，少许的油回流一般来说无大影响。但对物质纯度要求较高的，则是不容许的。
由于油扩散泵是通过清除分子来创造一个真空的，所以在运作时腔内壁必须要保持清洁。在对泵维护分拆清理时，维护人员可用肥皂水清洗，砂布擦亮，最后，再用酒精擦干，便可回装。注意清理或回装过程，严禁烟火。
